<ruby id="dn5rv"><th id="dn5rv"><span id="dn5rv"></span></th></ruby>

<progress id="dn5rv"><form id="dn5rv"></form></progress><track id="dn5rv"></track>
<var id="dn5rv"><i id="dn5rv"></i></var>

          熱線 0755-27919860

          沃飛科技創新全自動特氣柜,筑牢半導體制程工藝安全防線

          2021-04-14 15:31:47        0

            

            近幾年,隨著國內智能移動設備、自動駕駛汽車、云服務數據、5G通信、環保新能源等強勁的市場需求,促進了包括半導體集成電路芯片、液晶面板、光伏等行業產品的迅猛發展。這些領域的產業鏈大致可以分為上游的高純材料,中游的芯片制造以及下游的終端產品。其中,上游的高純材料制造和傳輸與中游的芯片制造,包含了大量復雜的工藝流程,而關鍵的工藝系統就是流體系統。


            由于集成電路芯片制造的工藝設備需要大量工藝氣體參與反應,其中強腐蝕性的氣體有氯化氫、三氯化硼、溴化氫等。對于此類腐蝕性氣體應用,應當采用高質量的特氣柜產品,筑牢安全防線。


            在特氣柜研發制造上,目前行業表現出色的當為沃飛科技。長期以來,沃飛科技嚴格按照ISO9001標準執行各項管理,產品有多項國家專利及CE/ROHS/SIME認證,憑借著卓越的研發能力與精銳的技術力量,能夠圍繞客戶提供大宗氣體系統、電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、潔凈氣體管道、高純化學品供液系統、Local Scrubber尾氣處理系統等工程項目設計安裝交鑰匙模式高性能和高質量的解決方案。經過多年的行業技術積累和穩健快速發展,公司主營業務和產品在市場上積累了良好的業績和口碑,獲得客戶的高度認可。



            沃飛科技緊跟半導體行業的發展趨勢,利用自身豐富的設計能力和實踐經驗,貼近客戶應用并不斷創新。其全自動特氣柜(GC)是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性特種氣體供應而設計的特氣設備,在感受到外界環境變化達到閾值時會有信號輸出至中控室,并發出警報,設備會自動切斷,確保生產安全。


            其以PLC為控制主體,配合觸摸屏進行系統顯示和設定,實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全,有助于企業全面落實企業安全生產責任制,強化安全生產,對重大危險氣體源頭進行管控,從源頭上防范安全生產責任事故的發生。


            該設備擁有SIME 2認證,在產品品質和功能方面值得信賴和放心,第一時間發現泄漏并阻止泄漏氣體擴散,及時報警處理,避免更大事故的發生,還可根據不同的氣體特性和氣體使用要求,搭配不同的盤面設計,全面滿足客戶的行業需求。


            在半導體等行業制程工藝中,需要“安全”和“穩定”地使用特種氣體,普通的氣瓶柜無論是在材質上還是功能上都無法滿足要求,所以半導體行業可配置有SEMI S2認證的沃飛科技電子特氣柜。選擇沃飛科技,實力品牌質量有保障!