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          化學品供液系統

          2020-03-02 16:21:20 0

          高純化學品是大規模集成電路和超大規模集成電路制造的關鍵性配套材料,主要用于芯片的清洗、蝕刻,以及高能電池電解液、電子元器件、高端通用芯片、分立器、平板顯示器、太陽能電池、光電玻璃等制造領域。高純化學品的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。高純化學品具有品種多、用量大、技術要求高、儲存使用有時間期限和具備腐蝕性等特點。



          在集成電路芯片和液晶顯示器生產的行業中,生產工藝需用的各種無機化學品藥液(主要包括各類酸、堿、鹽等)需要通過管道輸送到工藝設備,這些化學品藥液中具有強腐蝕性、易燃性、易爆性和劇毒性等危害,為防止化學品管道的輸送過程對人、設備造成傷害以及對環境造成的污染,保證電子工業廠房化學品管道安全有效輸送,要求此類管采用雙套管的施工方法,而傳統的雙套管施工工藝是透明PVC管內穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。

          本工藝采用了透明PVC管內穿PFA軟管的施工方法,即管道系統包括內外管兩層管道,內管采用四氟乙烯與全氟烴基乙烯醚的共聚物的軟質管道(分PFA/PVDF/ECTFE等系列),內管為輸送化學品的管道,外管采用透明PVC管道,為保護管道。輸送管道規格一般為DN10、20、25、50?(1/4”、3/4”、1”、2”)的焊接型PFA管材及其管件,管道、附件均通過專用PFA焊接機進行焊接,與設備連接通常為法蘭連接。

          系統組成:
          系統一般由設于化學品間外墻的接收裝置、化學品間內的化學品接收儲罐、供給裝置、化學品供給管路組成,。
          a.化學品接收裝置,設置在化學品間內,于外墻設有接收窗,直接將室外化學品槽車的化學品接收,并注入藥品儲罐內;
          b.標準化學品接收儲罐,置于化學品間地下基礎之上,儲存化學品;
          c.化學品供給裝置,置于化學品間內,向使用設備供應化學品;
          d.化學品供給管路,自接收裝置至化學品儲罐,再由化學品儲罐至化學品供給裝置。由外套管及內管組成,外管均為透明PVC管,內管由焊接型PFA管及PFA彎頭組成。這類管道一般用于接收裝置至化學品接收儲罐至供給裝置的管路。